Az alumínium könnyű fém, jó elektromos és hővezető képességgel, valamint könnyen feldolgozható, ezért fontos anyag a félvezetőgyártásban. Az alumínium fő előnyei a következők:
1. Elektromos vezetőképesség: Az alumínium jó vezető fém, vezetőképessége nem olyan jó, mint a rézé, de könnyebb atomtömege miatt az alumínium jobb teljesítményt mutat a nagyfrekvenciás jelátvitelben.
2. Feldolgozhatóság: Az alumíniumnak jó a rugalmassága és plaszticitása, a vékonyréteg-lerakódási folyamat során egységes és sűrű filmet képez.
3. korrózióállóság: a levegőben lévő alumínium sűrű alumínium-oxid filmréteget képezhet, ami bizonyos környezetben bizonyos fokú korrózióállóságot biztosít.
4. Alacsony költség: A rézhez és az arannyal összehasonlítva az alumínium olcsóbb, így gazdaságilag előnyös a tömeggyártáshoz.